氮化硅AMB基板,新能源汽车SiC功率模块的最佳工艺 陶瓷基板紧密结合，再通过光刻、腐蚀及镀Ni等后续处理工艺制备出符合要求的氮化硅AMB覆铜板。%，峰值功率超230kW，功率密度提升近3倍。Aixtron与英飞凌调整MOCVD气体配比，使...